タグ：ターボ分子ポンプ

精密機械大手の島津製作所の中国子会社、天津島津液圧（天津市西青区）はこのほど、1200万元（約2億8000万円）余りを投じたターボ分子ポンプの生産ラインが稼働を開始したと発表した。 ターボ分子ポンプは半導体産業で重要な真 […]